气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,真空泵,这种泵基本上有两种类型:
⑶真空泵在其工作压强下,水环式真空泵,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,真空泵价格,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三较型溅射离子泵,(或二较型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,真空泵生产,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
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