东宇真空设备厂 图 |山东真空泵厂|真空泵

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，真空泵，被抽气体从进气口吸进到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，真空泵缓冲罐，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子**部转过排气口边沿，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中往，负气体压强忽然增高。当转子继续转动时，山东真空泵厂，气体排出泵外。如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a），下转子从泵进口封进v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时（图中c），下转子封进的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵进口封进v0体积的气体。当转子继续转到135°时（图中d），上转子封进的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，风冷式真空泵，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
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